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半导体真空设备润滑国产化，铭宏FZ110全氟聚醚润滑脂化解进口供货风险
国内不少晶圆厂、半导体设备厂商的高真空腔体、真空泵、阀门密封润滑，长期依赖海外进口全氟聚醚润滑脂。进口真空氟脂价格昂贵，采购周期长，供应链存在不确定性；一旦供货受阻，会直接影响半导体产线生产连续性。铭宏FZ110高真空专用全氟聚醚润滑脂，完成关键润滑材料国产替代，在性能指标上对标进口，保障真空制程稳定性。 FZ110采用超低蒸气压PFPE基础油+预脱气工艺，20℃蒸气压＜10⁻¹² Torr，适配＜10⁻³Pa高真空环境；耐强氧化、耐液氧，不产生颗粒杂质，适配刻蚀、CVD、镀膜等半导体工艺，保护晶圆不受可凝挥发物污染。材质兼容性优异，适配金属、氟橡胶、陶瓷，无需改动现有设备结构即可完成替换。国内现货，技术团队可对接半导体企业做工况验证、试样测试，规避海外产品交期与供应链风险，帮助企业控制耗材成本。 |
