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真空泵与腔体润滑新标准：国产全氟聚醚脂替代进口，杜绝污染、提升良率
真空泵与腔体润滑新标准：国产全氟聚醚脂替代进口，杜绝污染、提升良率 半导体制造中，真空泵、阀门、密封圈等部件对润滑剂要求极端严苛：普通油脂挥发物（CVCM）会冷凝在晶圆表面，导致缺陷、良率下降。铭宏FZ110系列高真空专用全氟聚醚润滑脂，采用超低蒸气压PFPE基础油，经预脱气处理，20℃蒸气压低于10⁻¹² Torr，完全满足高真空环境（<10⁻³ Pa）使用标准。 产品无闪点、无燃点，耐强氧化、耐液氧，与金属、氟橡胶、陶瓷等材料高度兼容，不产生颗粒物，不污染腔体。在等离子刻蚀、CVD、真空镀膜等工艺中，确保密封稳定、润滑持久，避免因润滑失效导致的制程中断。 相较进口产品高昂价格与长交期，铭宏FZ110系列实现国产替代，理化指标对标国际一线品牌，现货供应，无需工艺改造，已在长三角多家半导体设备厂商及晶圆厂批量应用，助力客户提升良率、降低维护成本。 |
